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①写出由纯SiHCl3制备高纯硅的化学反应方程式。
②整个制备过程必须严格控制无水无氧。SiHCl3遇水剧烈反应生成H2SiO3、H2和另一种酸,写出并配平化学反应方程式;H2还原SiHCl3过程中若混入O2 , 可能引起的后果是。
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