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请回答下列问题:
(1)二氧化硅与焦炭反应的另一种产物是一氧化碳.该反应的化学方程式为 .
(2)蒸馏属于 变化(填“物理”或“化学”).
(3)完成由下列纯SiHCl3制取高纯硅的化学方程式:
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